机台配置 | 规格描述 | 产地 | 备注 |
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机台整机规格 | 1320mm(W)×1030mm(D)×1720mm(H) | 普乐斯 |
1、工作真空度:20-60Pa
2、真空泵极限压力:4.0×10-1Pa 3、抽真空时间:≤50S 4、破真空时间:20-40S 5、供气方式:电磁阀式 6、流量计调节范围:0-300Sccm(毫升/分钟 7、产能:根据产品规格而定 8、处理时间:工艺不同,处理时间不同 9、操作方式:人工取放工件,一键启动自动控制 |
真空室规格 | 450mm(W)×450mm(D)×400mm(H) | 普乐斯 | |
电极板规格 | 410mm(W)×435mm(D),可任意组合 | 定制 | |
单层处理最大面积 | 340mm(W)×305mm(D) | 定制 | |
等离子发生器功率 | 射频13.56MH z,0-500W可调 | 国产 | |
真空泵系统 | 机械真空泵 | 国产 | |
真空测定系统 | 皮拉尼式真空计 | 进口 | |
PLC系统 | 西门子 | 普乐斯自主研发 | |
额定功率 | 3KW | ||
机台供电 | AC-380V/三相五线式 |
在真空状态下,压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用高频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢、四氟化碳等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的等离子体,然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去,从而达到表面清洁、活化等目的。
如图所示: