【普乐斯】RIE等离子体清洗机-PM40L

产品简介

品牌：普乐斯
名称：RIE等离子体清洗机
型号：PM40L
规格：800mm（W）×900mm（D）×1400mm（H）
功率：约3KW
用途：RIE等离子体清洗机主要应用于汽车点火线圈骨架涂覆环氧树脂前的处理，增加其结合力；骨架材质为PPT和PPU。
参考价格：

产品特点

1、RIE等离子体清洗机占地面积小；

2、适用性广，还可用于其他高分子材料和电子产品的表面处理；

3、定制托架，便于操作。

产品参数

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机台配置	规格描述	产地	备注
机台整机规格	800mm（W）×900mm（D）×1400mm（H）	普乐斯	1、工作真空度：20-100Pa 2、真空泵极限压力：4.0×10-1Pa 3、抽真空时间：≤120S 4、破真空时间：20-40S 5、供气方式：电磁阀式 6、流量计调节范围：0-300Sccm（毫升/分钟 7、产能：根据产品规格而定 8、处理时间：工艺不同，处理时间不同 9、操作方式：人工取放工件，一键启动自动控制
真空室规格	350mm（W）×400mm（D）×300mm（H）进口铝	普乐斯
电极板规格		定制
托架规格		定制
等离子发生器功率	40KHZ	国产
真空泵系统	机械油式旋片泵组	国产
真空测定系统	皮拉尼式真空计	进口
PLC系统	西门子	普乐斯自主研发
额定功率	5KW
机台供电	AC-380V/三相五线式

注：以上参数仅供参考，本公司可能对相关产品参数进行调整，如有变动，恕不再另行通知。若有不明处，欢迎来电询问。

工作原理

在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用RIE等离子体清洗机的高频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢、四氟化碳等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的等离子体，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去，从而达到表面清洁、活化等目的。如图所示：
真空等离子工作原理