普乐斯电子5月再获2项等离子自动清洗设备实用新型专利

文章导读：2021年5月，昆山普乐斯电子科技有限公司（以下简称普乐斯电子）申报的2项实用新型专利证书获得通过，专利产品为“一种等离子清洗机双项推头” “一种等离子清洗机压盖”。此专利为普乐斯内部资深技术人员与设计人员共同研发推出，由国家知识产权局审核批准。自此，普乐斯电子等离子清洗技术向半导体自动化领域又迈出新的一步。