等离子清洗机阻抗匹配的工作原理是怎样的？有哪些知识点？

阻抗匹配常见于真空等离子清洗机设备上，设备的反应腔体、电极和等离子发生器统称为负载，在带负载的直流回路中，外电路的负载电阻与电源内阻相等是负载匹配一个必要条件。直流回路的这一Z大功率定理在相应的交流回路中也存在。下图为大家列举了一个具有负载阻抗z的高频回路。

设电源内阻抗即输出阻抗为（a+jb）Ω，为满足在负载上Z大的功率输出，就需要负载阻抗和高频发生器输出阻抗“共轭匹配”。共轭匹配可以实现将总阻抗变成纯电阻的，即此时负载阻抗Z必须为（a-jb)Ω。

一种典型的高频匹配网络如下图所示。在等离子清洗机设计中，为控制回路中高频电流在合理数值区间，常会将高频发生器的输出阻抗设计成纯电阻的，其阻值一般是50Ω。高频放电阻抗一般为电容性阻抗，高频放电阻抗会因等离子处理设备中反应腔体的放电条件变化而发生数值变动，因而就需要调节匹配网络的阻抗与放电阻抗相加合，实现加合后的模拟负载阻抗与高频发生器输出阻抗一致，从而实现匹配。

换句话说，要通过各种放电条件来对匹配网络进行调节，使模拟负载也等于50Ω。此外，为了避免匹配网络因发热而造成的非必要的功率损耗，匹配网络的位置摆放也有考究，这是影响等离子清洗机匹配效果的其中一个因素，详细内容普乐斯将在之后文章中再与大家交流。
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