1.手动控制方式
真空等离子设备的手动控制是通过按下触摸屏上相应的虚拟按钮即真空泵开启。硬件按钮驱动的是继电器线圈，而触摸屏按钮驱动的是控制器软元件，控制器通过逻辑计算把结果输出到控制器的输出端，驱动中间继电器动作，中间继电器的触点通断驱动真空泵交流接触器的线圈的触点通断，从而控制真空泵电机三相电的通断。
真空等离子设备的手动控制是通过按下触摸屏上相应的虚拟按钮即真空泵开启。硬件按钮驱动的是继电器线圈，而触摸屏按钮驱动的是控制器软元件，控制器通过逻辑计算把结果输出到控制器的输出端，驱动中间继电器动作，中间继电器的触点通断驱动真空泵交流接触器的线圈的触点通断，从而控制真空泵电机三相电的通断。
2.自动控制方式
自动控制是按下自动按钮即所有动作按序自动执行，真空泵的启停是通过相应的逻辑条件穿插在整个工艺控制流程当中。
不管是手动控制还是自动控制，要想把真空度维持在某一数值，单独靠流量计来调节是无法满足要求的。腔体抽空是靠真空泵来抽取的，如果能够很灵活地控制真空泵电机的转速，腔体的真空度就能够很容易的控制在设定范围之内。当腔体真空度小于或大于设定值的时候，真空泵电机的转速根据计算会自动调节，使电机转速维持在设定真空度转速的范围之内；当腔体真空度受到其他因素的影响，实际真空度和设定真空度之间只要有偏差，程序就会自动计算，使真空泵的转速自动调节到能够维持设定真空值的转速范围之内，这种控制叫做PID控制。
自动控制是按下自动按钮即所有动作按序自动执行，真空泵的启停是通过相应的逻辑条件穿插在整个工艺控制流程当中。
不管是手动控制还是自动控制，要想把真空度维持在某一数值，单独靠流量计来调节是无法满足要求的。腔体抽空是靠真空泵来抽取的，如果能够很灵活地控制真空泵电机的转速，腔体的真空度就能够很容易的控制在设定范围之内。当腔体真空度小于或大于设定值的时候，真空泵电机的转速根据计算会自动调节，使电机转速维持在设定真空度转速的范围之内；当腔体真空度受到其他因素的影响，实际真空度和设定真空度之间只要有偏差，程序就会自动计算，使真空泵的转速自动调节到能够维持设定真空值的转速范围之内，这种控制叫做PID控制。
P是比列作用，I是积分作用，D是微分作用。PID既有比例作用的及时迅速，又有积分作用的偏差消除，还有微分作用的超前微调功能。当偏差阶跃出现时，微分立即大幅度动作，yi制偏差的这种跃变；比例也同时起消除偏差的作用，使偏差幅度减小，由于比例作用是持久和起主要作用的控制规律，因此可使腔体真空度变得比较稳定；而积分作用慢慢把偏差克服掉。只要三个作用的控制参数调试得当，就可以充分发挥三种控制规律的优点，得到一种理想的控制效果。
普乐斯电子9年专注研制等离子清洗机,等离子表面处理设备,已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证,为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗,活化,刻蚀,涂覆的等离子表面处理解决方案。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
【普乐斯】大气常压收放卷等离子表面处理设备
【普乐斯】半导体封装真空等离子表面处理设备-VPC-500F
【普乐斯】氮气宽幅等离子处理设备 PG-110LNLN
【普乐斯】常压射流型等离子清洗机设备 PTS-2D
【普乐斯】UVLED面光源-UVLED固化机-UVLED光源
射流等离子清洗机喷嘴
【普乐斯】聚合物大气等离子清洗机设备-PG-1000ZG
【普乐斯】JC2000P型便携式接触角测量仪
【普乐斯】EPDM低温等离子表面处理机-PG-1000ZE
【普乐斯】等离子清洗机仪器PM/R-T5LN01