射频真空等离子清洗机腔体不放电该检查哪些？

在射频真空等离子清洗机的使用中，您是否遇到过电源正常启动而腔体并不放电的情况呢？如果您使用的是普乐斯生产的有品质保障的等离子清洗设备，那么这种情况是由匹配器工作不正常所导致的；如果不是，那么还需要综合来进行分析。射频电源和匹配器均是射频真空等离子清洗机的关键部件，今天普乐斯就给大家分享一些关于匹配器的相关知识内容供大家参考。

一、射频真空等离子清洗机匹配器故障类型

匹配器的故障类型大致为为两种，一种是空气电容损坏，其发生故障是因为空气电容在运作的过程中产生了摩擦，进而产生了导电杂质，造成局部的短路；亦或者是因为摩擦而导致动片轴损坏，使之无法进行正常调节；另一种是进口晶体管故障，其故障与空气电容动片轴的损坏有直接关系，因空气电容无法正常工作，射频输出阻抗就没法进行调节，从而导致晶体管被击穿，此外，在匹配器的使用过程中，如果初始值调节不当，匹配时间过长或真空腔体内辉光放电不稳定均有可能引起晶体管的损坏。

二、匹配器在日常使用中的注意事项

在射频真空等离子设备的日常使用中，注意匹配器的日常检查，有利于延长匹配器的使用寿命，降低设备的故障率，那么匹配器在使用中有哪些需要注意的呢？

1.对真空腔体内的插针公母头进行定期检查，防止出现严重氧化及断裂的情况；

2.确认电极板摆放是否正确，无顺序错误，此外，在真空等离子设备的使用过程中如果需要调节电极板数量及间距，必须确认匹配器的自动匹配状态，如匹配时间较长，则需调节初始值；

3.定期确认匹配器的初始值，设备长时间使用就可能会出现初始值偏移的状况，需要定期确认并依照实际情况进行调节；

4.当匹配器出现初始值严重偏移的情况，则需要确认匹配器内部和空气电容叶片是否错位以及是否有打火现象，如出现此类情况，需及时处理。空气电容的固定叶片及动片在调到zui大时是基本重合的；如有打火现象，还需确认叶片是否烧坏，如烧坏可将烧坏的位置进行打磨之后再进行使用，此外，叶片之间的距离太近，也有可能出现打火的现象；

5.当出现电容无法调节的情况，可以打开匹配器，进行手动控制调节，同时确认叶片电容是否能够正常旋转。需注意电机与空气电容的传动部分是否存在有无法转动的现象，如出现卡死，需要进行及时报修，如出现齿轮和轴之间打滑，能够先自行进行简单处理。

除以上几项需要注意的事项之外，我们平时还需要多注意观察和清洁工作。对匹配内部空气电容区域进行定期检查，打开盖板查看是否有空气电容摩擦产生的杂质沉积，如存在一定程度沉积，就需要使用无尘布蘸取酒精来进行清洁，切忌使用气体吹散进行清洁，因为沉积的杂质通常是导电物质，吹散后很容易出现打火及控制部分的短路。此外，匹配器内部的配件使用周期是无法具体量化的，其使用周期与使用环境、处理产品、使用是否得当等均有关系。

普乐斯电子9年专注研制各类中频及射频等离子清洗机，等离子表面处理设备，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗，活化，刻蚀，涂覆的等离子表面处理解决方案，是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！

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