当射频大气压辉光放电的间隙缩小到微等离子体的尺度内，即为一毫米左右，甚至几百微米的量级，射频微等离子体又会出现哪一些新的特点呢？接下来普乐斯等离子清洗机与大家共同探讨。如下图所示，是在相同的电流下，射频微等离子体鞘层区与等离子体区的分布比例。在给定电流密度0.06A/cm2，当放电间隙逐步提升，实验与计算均反映鞘层开始逐步提升，而当极板间隙提升大于500μm后，鞘层厚度基本上保持在215μm保持不变。而对于等离子体区的厚度，其从100μm到900μm一直在单调提升。
根据上图我们得知，当等离子清洗机放电间隙小于500μm时，放电等离子体由传统化的辉光放电结构转换为1种鞘层主导的结构，即鞘层成为放电空间的主要部分。同时，数值模拟还反映，在鞘层主导的放电结构中，整个放电空间丧失了电中性，表现为电正性，如下图所示。
假如想在射频微等离子体中继续得到正常的辉光结构，确保放电间隙内的电中性，提升放电频率是1种行得通的方法。下图给出了在不同频率下两个周期电子密度的时空分布。图中显示，当频率为13.56MHz时，只有在电极附近才有大量的电子，其密度近似3.06×1011cm-3。
而当频率提升到27.12MHz时，产生的3.15×1011cm-3的电子密度在极板间伴随外加电压的改变反复振荡，从1个极板到另1个极板，基本上占据了整个间隙。伴随频率进一步提升到54.24MHz，在放电间隙产生的高密度电子，形成1个稳定的中性等离子体区。这些数据反映，伴随频率的提升，放电结构发生改变，传统化的辉光结构能够出现。
普乐斯电子10年专注研制等离子清洗机，等离子体清洗机，等离子清洗设备，常压大气和低压真空型低温等离子表面处理机，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗，活化，刻蚀，涂覆的等离子表面处理解决方案，是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
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