运用高压纳秒脉冲电压替代傳統的正弦交流电源驱动DBD,能够在更大的电极间隙、气体成分、电压频率等参数变化范围内产生均匀非平衡等离子体。下面两图为运用可调节脉宽的高压双极性纳秒脉冲驱动在大气压空气中产生的板-板电极结构的均匀DBD等离子体,其中电极间隙各自为2mm和4.5mm,普乐斯等离子清洗机介绍。
从图中能够看到,在较小电极间隙下,双极性脉冲都可以驱动产生均匀放电等离子体,而在较大电极间隙下,较短的脉宽更有益于在大气压空气中取得均匀放电。当脉宽为20ns时,均匀放电能够在较大的电极间隙下产生,不过随着脉宽的提升,放电的均匀性慢慢降低。当电压脉宽为200ns时,放电间隙内出现了明显的丝状放电通道,气体的击穿模式转为流注放电模式。
板-板电极结构的双极性脉冲DBD发射光谱与相同条件下针-板电极结构放电相近,不过,当放电为均匀放电模式时,因为等离子体中电子能量小于流注放电等离子体,直接电离并激发基态氮分子形成的激发态氮分子数量较少,氮分子离子第1负带较为微弱。上图为指数坐标下板-板电极结构等离子体发射光谱。
因为采用了指数坐标,光谱中微弱的信号将被放大显示,有益于对氮分子离子的第1负带的观察。尽管如此,该谱带仍很难辨别,因而,从电子能量角度讲,当下条件下取得的大气压纳秒脉冲DBD是均匀的。
普乐斯电子10年专注研制等离子清洗机,等离子体清洗机,等离子清洗设备,常压大气和低压真空型低温等离子表面处理机,已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证,为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗,活化,刻蚀,涂覆的等离子表面处理解决方案,是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问,欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009,普乐斯恭候您的来电!
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