持续创新，普乐斯等离子清洗设备又获一国家实用新型证书

文章导读：2019年12月22日，昆山普乐斯电子科技有限公司（以下简称普乐斯电子）自主研发的“一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体”收到了国家知识产权局颁发的实用新型专li证书。这一专li是对半导体晶圆清洗领域所用真空等离子清洗设备真空腔体结构的优化，是新时代下等离子清洗机设备适应半导体行业要求的一次成功尝试。