台积电5nm和3nm工艺产能将主要来自台南科学园，普乐斯等离子清洗机

文章导读：普乐斯等离子清洗机引用TechWeb、网易科技有关内容，从外国媒体相关的内容上看，台积电5nm工艺已经大规模投入量产，而3nm工艺也计划于2022年量产，台积电的5nm和3nm工艺产能今后很可能主要来自台南科学园的晶圆厂。