真空等离子处理机的三种真空泵组

真空等离子处理机的真空泵组一般分为三种，第一种是旋片式真空泵加上罗茨泵组成的油式泵组；第二种是干式螺杆真空泵加上罗茨泵组合成的干式泵组；第三种是机械泵加上分子泵组成的一款特别的分子泵组。这三种泵组分别有哪些优点？又有哪些选择的注意事项呢？普乐斯为大家逐一来介绍一下。
一、油式泵组
这种泵组是我们真空等离子处理机中zui为常见的一种泵组，它是由旋片式真空泵作为底泵，外加罗茨泵作为次级泵组合而成的泵组。油式泵组一般运用于对洁净度要求不是很高，且腔体较大的真空等离子处理机上。其优点有很多：首先，能够大幅度加大抽速，减少抽真空的时间；其次，结构较为简单，维护方便；还有，性价比较高，具有价格优势。

二、干式泵组

这种泵组是将干式螺杆真空泵作为底泵，罗茨泵作为次级泵组合成的泵组。因为都是由干式真空泵组合而成的，所以不会出现油污染，洁净度相较于油式泵组更高一些。干式泵组一般运用于生物医疗领域、半导体领域以及航天航空领域等洁净度要求较高的行业。
干式泵组作为一款性能优越的泵组，它的优点还真不少：首先，洁净度高，避免了油污染；其次，抽真空速度快，提高了工作效率；然后，工作时性能稳定，声音低；还有，对工作环境的要求低，能应对各种恶劣的工作环境。