真空等离子清洗机的工作原理是利用高能离子轰击晶粒表面,将表面吸附的有机和无机污染物击碎并去除,同时通过等离子体的化学反应将污染物分解成无害的气体,从而实现对晶粒表面的彻底清洗。这种清洗方法不仅可以保证晶粒表面的纯净度,还可以改善晶粒的表面质量和结晶结构,提高晶粒的性能和稳定性。
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