一、机器结构
1、真空系统
真空系统是在线真空等离子处理机的重要组成部分，主要由真空泵、气体分子泵、涡轮分子泵、真空计和阀门等组成。真空系统的主要作用是保证机器内部的真空度，从而保证等离子处理的效果。
等离子体系统主要由等离子体发生器、等离子体室、放电电极和电源等组成。等离子体发生器负责产生等离子体，等离子体室则是等离子体的主要反应区域，放电电极则是产生等离子体的重要组成部分。
3、样品架
样品架是在线真空等离子处理机的样品支架，用于将待处理的样品放置在设备中进行处理。样品架的设计和制造需要考虑到样品的大小、形状和处理要求等因素。
4、控制系统
二、机器原理
1、等离子体介绍
等离子体是一种离子化的气体，具有高温、高能量和高反应性等特点。等离子体在表面处理中具有非常广泛的应用，可以用于表面清洗、表面改性、表面涂覆等方面。
等离子体处理的基本原理是利用等离子体中的电子、离子和自由基等活性物质对样品表面进行化学反应。等离子体处理的效果受到等离子体的化学组成、电子温度、离子能量和处理时间等因素的影响。
3、等离子体处理优势
等离子体处理具有非常广泛的应用优势，主要包括以下几个方面一是可以对各种材料进行处理，包括金属、陶瓷、塑料、玻璃等；二是可以实现表面清洗、表面改性、表面涂覆等多种处理方式；三是可以在不改变样品物理性质的情况下实现表面化学改性，从而提高样品的耐热性、耐腐蚀性、耐磨性等性能。
4、等离子体处理应用领域
等离子体处理在各种领域中都有广泛的应用，主要包括以下几个方面一是电子行业的晶圆清洗、金属膜制备等；二是塑料行业的表面涂覆、表面改性等；三是汽车行业的表面涂覆、表面硬化等；四是医疗行业的生物材料涂覆、医疗器械表面处理等。
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