常用于真空等离子清洗机上真空气路控制的控制阀有哪些？

文章导读：真空等离子清洗机的气路控制主要由工艺气体控制和真空气路控制两大部分组成。上一篇我们介绍了工艺气体控制部分常用的控制阀有真空电磁阀、止逆阀（止回阀）、气动球阀，并加以详细描述，本篇我们来看一下真空等离子清洗机真空气路控制所用的控制阀。