
1、真空等离子清洗机处理产品或材料的反应机制
真空等离子清洗机处理产品是在低压反应腔室里面进行的,基本操作流程把需要处理的物件放在托架或者是电极上面,关上反应腔体室的门;然后抽真空至设定的背底真空值,通入相应的工艺气体并维持真空度在20-100Pa范围;接下来启动电源形成等离子体与产品或材料进行物理或化学反应,包括等离子清洗、等离子活化、等离子刻蚀和等离子聚合等;等整个反应完成后,通入压缩空气或氮气,进行破空,取出物件。
2、真空等离子清洗机的放电原理和热的形成
2-1 从真空等离子清洗机的反应机制来看,等离子放电的环境是在一个密闭的腔室里面,而且要维持一定的真空度,这是关键!气体在低气压状态下,分子间的距离会比较大,相互之间的作用力就比较脆弱;当有电场、磁场等外来能量加速种子电子去碰撞气体分子时,等离子体就形成了。
2-2 等离子体是由电子、离子、自由基、激发态分子和原子、基态分子和光子等组成,表面上看呈电中性,其实内部具有很强的电特性、化学特性和热效应。
2-3 真空等离子清洗机产生的等离子体属于非平衡等离子体,气体温度远远低于电子温度,而且电子质量小到可以忽略不计;即便如此,电子温度也是上万度,这样的话,在等离子产生和灭失的过程中,通过碰撞、辐射和接合等就会形成大量的热,很少的一部分被真空泵抽走,大部分还是留在真空反应腔室内。
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