一、高真空气动挡板阀
高真空气动挡板阀也称GDQ，一般情况下低压真空等离子设备在短时间待机的情形下，真空泵会保持运行的状态，高真空气动挡板阀可用于接通以及切断真空管路中的气流，从而能够实现真空腔体内抽真空过程的开启和关闭。高真空气动挡板由压缩空气作为动力，具有运行稳定可靠、维护方便的优点，是三类真空气路控制阀中应用较为广泛的一种。
二、电磁真空带充气阀
电磁真空带充气阀属于电磁阀类的控制阀，主要使用在真空泵随运行参数而开启的低压真空等离子设备上。工作原理是：当真空泵开始运行，电磁真空带充气阀随之打开，当真空泵关闭，此时阀门线圈断电，阀门依靠机械力而关闭，可以防止真空泵内油气因真空腔体内负压而被倒吸。
电磁真空带充气阀具有安装简单的优点，但稳定性相对较差，如果长时间使用，阀门的磁力会衰退， 同时复位弹簧也容易出现反应迟缓的情况，目前这类控制阀大多是被应用于实验型的低压真空等离子设备。
以上就是低压真空等离子设备真空气路控制的两种控制阀，如果您想要了解更多关于低压真空等离子设备的详细内容或者在等离子处理设备的使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
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