放电中的射频等离子清洗机
光是一种电磁波,由于其振动频率不同,人眼的视觉神经对不同频率的光有不同感受作用,从而在大脑皮层就形成了对不同颜色的感知。
真空(低压)等离子清洗机的等离子体其激发态分子中的电子从高能级跳回到低能级,即从激发态向下基态退激,多余的能量会以光子的形式释放出来;不同的气体电离后,激发态退激成基态,会发出自己特定波长(频率)的光子。
真空(低压)等离子清洗机产生等离子体的能量,除了与气体本身的特性有关,与等离子体产生的条件或者说环境有关系,包括维持的真空度、施加功率、激发频率、电极结构、气体种类等。
这就是为什么有经验的工艺工程师,通过观察等离子清洗机放电的颜色,就可以判断等离子清洗机工作是否正常,清洗的产品有没有问题。举例如下:
1、水平电极的真空(低压)等离子清洗机中:氮+氢混合气体的等离子体
真空(低压)等离子清洗机的等离子体其激发态分子中的电子从高能级跳回到低能级,即从激发态向下基态退激,多余的能量会以光子的形式释放出来;不同的气体电离后,激发态退激成基态,会发出自己特定波长(频率)的光子。
真空(低压)等离子清洗机产生等离子体的能量,除了与气体本身的特性有关,与等离子体产生的条件或者说环境有关系,包括维持的真空度、施加功率、激发频率、电极结构、气体种类等。
这就是为什么有经验的工艺工程师,通过观察等离子清洗机放电的颜色,就可以判断等离子清洗机工作是否正常,清洗的产品有没有问题。举例如下:
1、水平电极的真空(低压)等离子清洗机中:氮+氢混合气体的等离子体
氮+氢混合气体的等离子体
2、组合式电极真空(低压)等离子清洗机:氩气电离的等离子体
氩气电离的等离子体
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