微电子行业中的等离子表面处理技术应用

在微电子行业的生产制造流程当中，等离子表面处理技术现已逐渐成为了一类必不可少的工艺技术。而等离子表面处理设备则可以称为是集合等离子处理技术的一种工艺设备，在微电子、汽车制造等领域内，业内人士常称之为“等离子清洗机”，随着工艺技术的发展，等离子处理设备的应用也越来越广泛，等离子处理技术也慢慢被大众所熟知。今天我们就与大家交流一下，在微电子行业内等离子表面处理技术的应用，如果您在生产制造过程中有遇到问题，希望本篇文章对您有所帮助。

在经过机械清洗、水洗与溶剂清洗等传统的清洗方式后，您是否发现了这样的清洗并不彻底，所处理的材料表面仍会存在几纳米至几十纳米之间厚度的残留，影响器件焊接、粘附等性能。以往的工艺要求并不严格，对产品可靠性要求也不高，行业生产中是允许一定清洗残留的，但随着精密性、可靠性要求的逐渐提高，越来越多的微电子生产制造企业都寻求新的表面清洗方式，而等离子体表面处理技术就能够实现器件表面的超洁净、彻底清洗，提高产品的可靠性、提升产品良率、降低生产成本。

从污染物的来源来看，微电子器件的表面污染物主要包括外来分子附着；器件表面与环境接触而自然形成的氧化层两种。等离子清洗机的表面处理技术就能够有效处理这两种类型的表面污染物，而在处理过程中需要先选择合适的工艺气体。在电子元器件表面处理过程中，较为常见的是氧气与氩气。那么氧气等离子清洗设备与氩气等离子清洗设备是如何实现有效清洗的呢？

1). 氧气在交变电场的作用下能够发生电离，从而形成大量含氧的活性基团，这些基团能够对元器件表面的有机污染物实现有效去除，同时也会将基团吸附在元器件表面，有效提升元器件的结合性，如微电子封装工艺技术中，塑封前的进行等离子处理也是一种典型应用。经过等离子处理的元器件表面具有更高的表面能，能够实现其与塑封料的结合，减少塑封工艺技术中分层、针孔等现象的产生。

2). 氩气可形成氩离子，并可以利用材料表面生成的自偏压对材料进行溅射，消除表面吸附的外来分子并能够有效去除表面金属氧化物。在微电子打线前的进行等离子处理是一种比较典型的工艺。如经过等离子体处理后的焊盘表面，清除了有机污染物和氧化物，能够有效提高打线和焊线时的可靠性，提高良率。

在等离子工艺技术过程中，除工艺技术气体的选择，等离子电源、电极结构、反应压力等多种因素均会对处理效果产生不同的影响。

普乐斯电子9年专注研制等离子清洗机，等离子表面处理设备，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗，活化，刻蚀，涂覆的等离子表面处理解决方案。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！

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