工作原理
真空等离子清洗机：利用在真空环境下，通过在密封容器的两个电极形成电磁场，使稀薄气体在电磁场作用下，分子间距及自由运动距离变长，发生碰撞形成等离子体，等离子体在电磁场内运动并轰击被处理物体表面，实现清洗、刻蚀等效果。
结构特点
真空等离子清洗机：一般由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔体、机械部分等组成。
微波等离子清洗机：主要包括微波发生系统、传输系统、等离子体反应腔、气体供应系统、真空系统、控制系统等。
等离子体特性
真空等离子清洗机：等离子体密度相对微波等离子清洗机较低，其离子能量和密度与激发频率有关，常见的中频（40kHz）等离子体密度较小。
微波等离子清洗机：能产生高密度的等离子体，离子浓度高，电子密度可达 10-100×10^{10} cm^{-1}，气体电离度在 20%-50%。
真空等离子清洗机：适用于面积较大、形状复杂的材料清洗，可有效去除真空环境中的有机污染物，达到分子级清洗效果，广泛应用于表面去油及清洗、等离子刻蚀、塑料等的表面活化和清洗等。
微波等离子清洗机：更擅长处理精细的电子元件、半导体封装器件等，在半导体行业用于晶圆表面光刻胶去除、芯片表面清洗等，在医疗器材制造行业可提高植入式医疗器械生物相容性等。
成本与维护
真空等离子清洗机：整体成本相对微波等离子清洗机可能较低，设备结构相对简单，维护成本也相对较低，维护主要集中在真空系统、电极等部件的检查和更换。
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