实验装置包括一个气体罐,一个电源,一个常压DBD介质阻挡等离子体反应器,一个光谱仪传感器和一个温度传感器,如图1所示:
图1 细金属导线常压DBD介质阻挡等离子体退火系统
连接电源的圆筒形常压DBD介质阻挡等离子体反应器如图2所示:
图2 圆筒形常压DBD介质阻挡等离子体反应器
圆筒形常压DBD介质阻挡等离子体反应器的原理结构如图3所示:
图3 圆筒形常压DBD介质阻挡等离子体反应器的原理结构
薄圆筒形铝电极(外电极)覆盖在电介质上以防止电弧,它是连接到一个电源。细铜线(内电极)通过等离子体反应器驱动,并连接到地面。在退火前,反应器中充满了气体,氦气,氩气或氮气(纯度>99.9%)。 在退火过程中,将纯化的放电气体连续地送入等离子体反应器中,以辅助等离子体放电。使用数字示波器记录所施加的电压和电流波形,分别用高电压探头,线圈监测。 三个样品的延伸率的测量采用et-100西川,工业所需的延伸率为20%。
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