
我们都知道,散热的方式大致有四种:辐射、传导、对流、蒸发。对于真空等离子清洗机的反应腔本体、电极板、托架以及附件的散热,主要是靠传导散热和辐射散热,少量的对流散热。
真空等离子清洗机的反应腔室本体一般都是铝或不锈钢的材质,电极板基本上采用铝合金,这两部分在等离子体处理产品的时候吸收了大量的热,不加任何配套设施的情况下,就会以传导的方式和热射线的形式散发给周围温度较低的物体,例如机台紧固件、外壳和低温空气中。改善措施:给电极和反应腔室增加冷却系统,例如电极采取蛇形管贴附或者中通冰水的方式,可以大大改善散热效果。
真空状态下气体往往以扩散方式进行,很难形成对流;真空等离子清洗机腔室内的热量,由真空泵带走的也是比较有限。改善措施:加大进气量或提高抽速,但要考虑放电的真空度和等离子处理效果。
其他方面,等离子发生器的选型、功率大小的设定、真空腔室大小和电极结构的设计等,对于散热问题的改善也是有帮助的。
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