等离子体清洗设备是使用等离子体进行表面处理的机器，等离子体是物质的第四态，区别于固态、液态、气态三种状态；等离子体中有处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
整个处理过程有物理、化学不同的作用，物理反应就是等离子体撞击污染物；化学反应是气体与污染物发生反应，比如：工艺气体氧气与污染物反应生产二氧化碳等等物质，真空泵抽离，达到清洗效果；整个反应中，物体表面还会生产活性基团，这些基团将会提高表面的活性、浸润性、粘接力，有利于后期涂覆、粘接工艺的处理。
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