2. 等离子体产生:在真空室中加入一定量的工艺气体(如氩气、氧气、氮气等),并在电极上施加高电压,产生电磁场,将气体电离成等离子体。
3. 清洗:将产生的等离子体喷射到样品表面,通过等离子体的化学反应、物理碰撞等作用,清除表面的污染物。
处理过程中需要注意:
1、处理时间:不同材料的处理时间不同,同时还需要考虑产品后续工艺的需求;
2、气体种类:不同种类污染物适合的气体是不一样的,选择合适的气体才能保障处理效果;
3、处理功率:功率的大小影响处理温度,一些不耐高温的材料需要着重注意,以免损伤产品;
等离子清洗工艺具有高效、无污染等优势,同时适合多种类型的材料,应用于多个行业中,是不错的表面处理解决方案。