
待清洗物进入反应室后,先关闭反应室的门,然后启动真空泵,将反应室内的气体抽出,形成真空环境。
2. 供气
当反应室内的真空度达到一定值后,启动气体供给系统,将氧气、氮气、氩气等供给反应室内。这些气体与等离子体发生反应,形成高活性离子,对待清洗物表面进行清洗。
3. 清洗
当等离子体与气体发生反应时,会产生一定的能量,这些能量会对待清洗物表面产生影响。随着反应的进行,待清洗物表面的污物会逐渐被清除。

当清洗结束后,关闭气体供给系统,将反应室内的气体排放出去。然后打开反应室的门,将清洗物从反应室中取出。
