等离子清洗设备辉光放电电位分布和光区分布有什么特征吗？

等离子清洗设备辉光放电的一个明显的特征是，以阴极位降所表征的气体中电位分布，这个电位分布是因为空间电荷的影响，辉光放电是具有较大的阴极位降。被辉光覆盖着的并参与放电现象的阴极表面正比于管内电流强度，当电流发生变化时，电流密度和阴极位降都保持不变，此时为正常的辉光放电。当电流提升到全部阴极表面被辉光覆盖时，阴极位降随电流强度及电流密度的提升前開始增大，此时就将进入反常辉光放电。

从等离子清洗机放点空间的光区分布来看，可分为两大部分：第1是放电的阴极部分，包括阿斯顿暗区、阴极辉区、阴极暗区、负辉区及法拉第暗区；第2部分称为阳极部分，包括正柱区、阳极暗区和阳极辉区。阴极部分并不具备等离子体的特征，从正柱区到放电的阳极其他区域都是处于等离子体状态。

在正常等离子清洗机辉光放电的阴极区，正的净离子数密度是常数。当进入反常辉光区时，电流密度的提升造成电场的畸变阴极位降进一步提升，阴极位降区功率损耗越来越大，使阴极上产生溅射。阴极溅射是辉光放电阴极上一个特定过程，如阴极溅射能够清除阴极表面不同性质的粘附层，能够得到金属膜粘附在金属、玻璃、陶瓷、云母等材料上面。
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