你知道吗？低温等离子体清洗机内部经常选用金属气体管路

文章导读：通常，在几百帕以下的低压状态所形成的等离子体都是非热平衡状态，Te远大于Ti并且Ti也远大于Tn，我们把这样的等离子体称为低温等离子体(冷等离子体cold plasma)，常见的设备就有真空低温等离子体清洗机。