不同工艺气体电离后每个原子的激发光谱不一样,颜色也是变化的,激励功率、频率不一样,即便同一个物种也会有不同的颜色,比如氩气是可以呈现淡紫色,或蓝色。何况等离子体产生的光不是单一的,而是混在一起的颜色。
1 气体成分对于真空等离子清洗机放电颜色的影响
不同工艺气体,例如氧气、氩气、氮气、四氟化碳等单一气体,或者是这些气体一种或两种以上的混合气体,不同比例,产生的等离子颜色是不同的。下图是真空等离子清洗机放电状态。
真空等离子清洗机每一次运行前,都会抽真空,假如背底真空不同,反应腔体和管路里面有残余的气体,例如空气,真空度的不稳定,也会影响放电颜色。下图是真空等离子清洗机放电状态。
真空等离子清洗机的气源纯度,气瓶残余气体成分或多少,是否混入气体气体等,也会影响放电的颜色。以下图3是真空等离子清洗机放电状态。
解决办法:购买瓶装气体的渠道要正,保证气体的一定纯度;背底真空抽取和测量要有好的配套设施和计量计;腔体焊接质量要有保证,有侧漏环节,对漏率有要求等等。
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