2、真空系统:用于将清洗室内部的气体抽出,以便在清洗过程中维持一个合适的真空度。
2-1:真空泵:用于抽真空或破空,对真空室内气压进行调控;
3、控制系统:半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制,不同产品采用不同控制方式;
4、腔体外壳:整个外观以及产品设计,好看的外观是设备的加分项,同时设计也需要根据厂家需求、尺寸、空间、摆放位置等等信息来处理;
5、等离子发生器:也是等离子源,有不同的频率,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的。