等离子清洗设备在光电领域的应用

文章导读：等离子清洗技术利用高能离子和活性气体分子的化学作用来去除光电器件表面的有机物、金属污染物和氧化物，从而提高器件的性能和稳定性。在光电器件制造中，清洗工艺对器件的成像质量、光电转换效率等具有决定性影响。传统的清洗方法如溶剂清洗、超声波清洗等存在着环境污染、效率低下等问题，而等离子清洗设备则能够有效地解决这些问题。