等离子清洗机还可以在薄膜沉积工艺中发挥作用。在FPD的薄膜沉积中,基板表面的洁净度和平整度对于薄膜的附着和质量至关重要。等离子清洗技术可以有效去除表面的杂质和氧化物,提高薄膜的附着力和均匀性,从而改善FPD的光学性能和稳定性。
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