1. 等离子体气体:常用的气体包括氧气、氮气、氩气、氢气等。
2. 放电功率:放电功率越高,等离子体的密度和温度就越高,处理效果也越好。
3. 处理时间:处理时间越长,等离子体对样品的影响就越大,但也容易造成样品损伤。
5. 样品尺寸和形状:不同尺寸和形状的样品对等离子体的反应不同,需要根据实际情况进行选择。
6. 样品表面性质:不同材料和表面性质的样品对等离子体的反应也不同,需要进行优化和调整。
7. 等离子体与样品之间的距离:距离的选择影响着等离子体对样品的影响和处理效果。
来源:普乐斯 日期:2023-06-20 10:16