首先我们需要了解到的是，与氦气相比，等离子清洗机要想在大气压环境中实现氮气均匀放电的难度相对较大，只能在较短的气隙中实现。因此，我们在氮气DBD放电实验中，我们可以大致沿用氦气实验的装置，但需要将气隙长度缩短为2mm。
二、相应的实验过程
完整的实验过程需要先将放电室抽真空至5Pa以下，然后充入纯净的氮气（99.999%)，并且维持一定流速的纯净氮气流，如30cm/s。设计吹气系统和抽气系统以动态维持放电室的气压在一个大气压。质量流量计控制流速范围为0~30slm(标准升/分钟），相应的间隙内的气流速度为0~167cm/s。
以上就是关于DBD氮气等离子设备的均匀放电研究装置及实验过程的介绍，在下篇文章中，普乐斯将通过实验所得的外加电压与放电总电流波形图、气体间隙的侧面所拍摄的放电图像来观察气隙电压和运流电流存在的关联。
普乐斯电子9年专注研制等离子清洗机，等离子表面处理设备，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗，活化，刻蚀，涂覆的等离子表面处理解决方案。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
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