在前两天的文章中，有向大家介绍了材料渗气对真空等离子清洗机抽空速度的影响，材料渗气固然是造成真空等离子处理系统抽空速度变慢的其中一个原因，其实在实际的诊断中，真空泵出现问题从而造成怠工、效率下降也是非常常见的，那么我们应该如何进行检查以及真空泵的正确维护保养呢?当出现真空等离子处理设备的抽真空能力下降时，我们可以先在无负载的状态下进行设备运行，如测试出得ji限真空值较高，如8Pa时，我们基本就可以判断为是真空泵出现了问题，此时需要对真空泵进行拆解检查。主要的检查内容如下。
一、真空泵油的检查
当处理产品本身所含杂质较多，且真空油未及时更换时，真空油会变得混浊且粘稠，此项检查即主要检查真空泵腔室内的油品情况，如油品质量下降，则需要更换新油。
二、真空泵抽气滤芯及滤网检查
此项检查主要是检查等离子设备的真空泵抽气滤芯及滤网上是否有大量杂质沉积，从而引起网孔堵塞，影响抽空速度，如有堵塞情况，需及时清理。
三、真空泵腔室的检查
该项检查主要是检查真空泵腔室内是否有大量杂质沉积和粘附，这是因为真空泵开启后，腔室内的杂质都会随之开始流动，如杂质过多，会造成真空泵的转子卡死、各级旋片划伤及损坏、封堵油路、排气阀片断裂等诸多情况，影响等离子处理设备的抽空能力甚至导致真空泵主要部件的损坏。
四、排气阀片检查
此项检查主要检查排气阀片是否断裂。排气阀片在真空泵内起到单向阀的作用，如断裂其单向阀作用就会失效，进而造成真空等离子处理系统抽真空能力下降。
五、各级旋片的检查
此项检查主要是检查真空泵各级旋片是否有磨损和损坏的情况，如磨损和损坏情况严重，会导致旋片的配合间隙变大，影响抽空能力。
六、密封圈的检查
如真空泵腔体密封圈出现损坏，非常容易造成漏油，从而影响抽空速度。
七、止逆阀的检查
如等离子真空系统的止逆阀出现损坏，也会导致设备的抽真空能力下降。
具体的检查步骤和维护保养的步骤，请参考往期文章：为什么等离子清洗机抽真空下不去？真空泵怠工了！
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