1. 清洗方式:包括干式清洗和湿式清洗两种方式。
2. 气体种类:清洗时使用的气体种类,如氧气、氮气等。
3. 清洗室尺寸:设备清洗室的尺寸,通常会根据清洗对象的大小来确定。
4. 清洗速度:清洗过程中的速度,通常会影响到清洗效果和清洗时间。
6. 清洗时间:清洗一次所需的时间,可通过控制系统进行设置。
7. 清洗温度:清洗过程中的温度,通常会影响到清洗效果。
8. 等离子体密度:产生等离子体时,等离子体的密度大小。
9. 设备尺寸和重量:设备自身的尺寸和重量,通常会决定设备的可移动性和使用场所。