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半导体行业的铜支架经过等离子清洗机处理后为什么变色?普乐斯资深工程师有一些见解!

来源:普乐斯 日期:2021-01-25 15:17 

文章导读:半导体封装行业,包括集成电路、分立器件、传感器和光电子的封装,通常会用到铜材质的引线框架,为了提高键合和封塑的可靠性,一般会把铜支架经过几分钟的等离子清洗机处理,来清除表面的有机物、污染物,增加其表面的可焊性和粘接性。
       有的时候我们会发现,铜支架在等离子清洗机的真空环境下如果处理不当,容易出现表面变色和发黑,严重的甚至是出现烧板等现象。难道是因为腔体里面的空气没有抽干净吗?残余空气中氧分子被激发,形成的氧等离子体与铜表面发生化学反应而形成氧化铜的结果?原因真的就这么简单吗?普乐斯资深工程师结合多年的等离子清洗铜支架的实践经验,与大家一起分析一下。

半导体铜支架

      1 等离子清洗机真空度影响铜支架清洗效果和变色
       等离子清洗机真空度关联因素包括真空腔体漏率、背底真空、真空泵的抽速和工艺气体的进气流量等。真空泵抽速越快,背底真空值越低,说明里面残留的空气就越少,铜支架与空气里面的氧等离子体反应的机会就会越少;当工艺气体进入,形成的等离子体可以充分地与铜支架发生反应,没有被激发的工艺气体可以把反应物轻松带走,铜支架清洗效果会好,不容易变色。
 
等离子清洗机真空泵

        2 等离子清洗机电源功率对铜支架清洗效果和变色的影响
等离子清洗机电源功率关联因素包括能量功率大小和单位功率密度。电源功率越大,等离子体能量就越高,对铜支架的表面轰击力就越强;同等功率的情况下,处理的铜支架越少,单位功率密度就会越大,清洗的效果就会越好,但有可能会造成能量过大,板面变色或者烧板。
 
半导体铜支架

       还有更多关于半导体行业铜支架经等离子清洗机处理后变色的内容普乐斯将在之后文章中再与大家交流。

       普乐斯电子11年专注研制等离子清洗机,等离子体清洗机,等离子清洗设备,常压大气和低压真空型低温等离子表面处理设备,大气低温等离子体表面处理系统,大气常压收放卷等离子表面处理设备,已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证,为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗,活化,刻蚀,涂覆的等离子表面处理解决方案,是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问,欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009,普乐斯恭候您的来电!