触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控,数据砸导出(可选)
模块多样化选择
多层托架可选,处理量大
型号 | PM-2300LN | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制(自动/手动切换) |
PLC(标配)/PC(可选) | ||
操作系统 | Windows 10 | |
触摸屏 | 10寸 | |
整机规格 | 尺寸 | W1400×D1100×H1400mm |
腔体 | 尺寸 | W450×D400×H450mm |
材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选) | |
电极 | 尺寸 | W440×D317mm |
层数 | 1-8层,可选 | |
托架 | 材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选) |
层数 | 1-8层 | |
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 |
流量计 | MFC质量流量控制器 | 2个;Ar、N2、O2(可选) |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz,0~1000W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 40KW |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V |
选购品 | 干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件 |