v非常彻底的清洗
v均匀性一致性良好
v全自动模式,操作方便
v设备稳定,维护方便
v可以按照客户要求定制
型号 | PG-110LN | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制(自动/手动切换) |
PLC | ||
操作系统 | 无 | |
触摸屏 | 小 | |
电极规格 | 尺寸 | W625×D216×H220mm |
处理器 | 处理宽幅 | 宽度≤200-2000mm(可以根据客户要求定制最宽2米) |
材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选 | |
冷却结构 | 空气 | 空气冷却 |
蚀刻能效 | 速率 | ≥0.5µm/Min |
均匀性 | ≥90% | |
水滴角 | 原玻璃初始< 30° | 处理后原玻璃: ≤5°, 6000mm/min |
移动速度 | 根据生产线调整 | 由最终用户要求调整 ( 最大值 6000mm/min) |
移动方式 | 生产线移动 | 水平/斜动轮轴输送机 |
接地方式 | 一种 | 1 种 地接方式 10Sq 以上 (10Ω一下 独立地接) |
工作温度 | 入口处标准 | 5℃ 至 + 35℃ |
湿度 | 相对湿度 | 15% ~ 85% |
N2气流量 | PF2A310-A ……………………200LPM 以下 电源供给装置锁定 联锁系统为了保护电极及电源供给装置,在电源供给装置启动前检查气体压力和流量的设置系统。 |