一种半导体电浆机的制作方法

本发明涉及电浆机技术领域，尤其涉及一种半导体电浆机。半导体等离子机也叫等离子刻蚀机。等离子蚀刻是最常见的干蚀刻形式。其原理是暴露在电子区的气体形成等离子体，产生的电离气体和高能电子组成的气体被释放，从而形成等离子体或离子。当电离的气体原子被电场加速时，它们会释放出足够的力来紧紧地附着在材料上或蚀刻表面。目前，半导体电浆机需要在真空环境下进行刻蚀，但现有电浆机密封效果差，导致空气中的氧化气体进入电浆机，导致半导体表面刻蚀不均匀，使用不方便。鉴于此，我们提出一种半导体电浆机。

本发明的目的是提供一种半导体等离子电浆机，以解决上述背景技术中提出的半导体电浆机密封效果差的问题。为了实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种半导体电浆机，包括电浆机体，所述电浆机体的正面设有显示屏，所述显示屏下方设有控制面板，所述电浆机体的上表面设有通孔，所述显示屏一侧的电浆机体的正面设有蚀刻室， 通孔与蚀刻室连通，电浆机体的上表面设有真空泵。 真空泵通过第一螺栓与电浆机体的上表面固定连接；真空泵的输出端设有排气管；排气管的一端通过通孔伸入蚀刻室；滚筒安装在等离子机体下表面的四个角上。排气管与通孔的连接处设有法兰，法兰上设有多个第二螺栓，法兰通过第二螺栓与电浆机体的上表面固定连接。法兰与通孔的连接处设有垫圈。矩形塞的横截面尺寸与矩形槽的尺寸相匹配，矩形塞通过矩形槽与空心密封垫相插配。仓门的正面设有窗户。门靠近显示屏的一侧设有弧形凹槽，电浆机体的正面与气缸紧密焊接，气缸的一端与转轴紧密焊接，转轴上设有限位器，限位器的一端设有圆孔，另一端与限位柱紧密焊接。转轴穿过圆孔，挡块通过转轴与气缸转动连接。限位柱通过弧形槽与仓门滑动连接。弧形槽的中心角度设置为90-120度。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：仓门关闭后，通过转轴转动限位器，使限位器一端的限位柱滑入弧形槽的另一端，限位柱在蚀刻仓的开启位置扣合仓门，使限位柱对仓门起到一定的限位作用，从而实现仓门的关闭；同时，矩形塞通过矩形槽与中空密封垫插入配合，提高仓门与刻蚀仓连接处的密封效果，防止空气中的氧化气体进入刻蚀仓，提高半导体表面的刻蚀均匀性，解决半导体电浆机密封效果差的问题。