
UPH,英文units per hour的缩写,是指生产线的标准产能的每小时产出产品数量。对于在线式等离子清洗机而言,就是一台单机1个小时的产能大小,例如清洗铜引线框架,UPH是480PCS/h,表示1个小时内不间断处理满足后续工艺要求的铜引线框架共计480片。

在线式等离子清洗机工作过程一般包括,上料、抽真空、进气、放电、破真空和下料,一个流程下来大概需要30-60秒的时间。从中可以看到,设备正常运行的情况下,影响UPH的因素可以分解成上下料时间、抽真空时间、进气时间、放电时间、破空时间,整个处理过程上下动作相互衔接,顺畅有序,不能出任何纰漏就能保证良好的UPH。
3 提高半导体封装行业在线式等离子清洗机的UPH的方法
在保证等离子清洗产品质量的情况下,提高UPH的方法主要靠缩短相关运行的时间。上下料的运行时间往往在设计的时候就会考虑其极限,所以压缩的空间比较小;减少抽空时间可以考虑配置抽气量比较大的泵;处理时间变短,可以考虑把进气和破空时间减少,同时提高等离子发生器的功率。相关调整,需要工艺工程师和设备厂家一起做参数优化。

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