发黑变色很可能是通引线框架出现氧化的问题;真空腔体内部没有抽干净的状态下,氧气在高温的环境下与铜进行反应,产生了氧化,导致铜引线框架发黑;造成抽真空失败的原因是多样的,如:真空腔体漏气、真空泵抽气出现故障、气体阀门未关好、气管出现故障等等;当一切都正常时,等离子清洗机的处理的效果会好,等离子体对表面处理,生成的反应物也可以被工艺气体带走,铜引线框架完成清洗,表面处理效果好,水滴角检测也满足要求。
电源的功率给反应带来不同的能力强度,一般来说铜引线框架的清洗采用视频电源,这种电源温度低,能量比较柔和,处理的效果好;如果采用的中频电源,能量可能会更好,但是温度也会较高,同时能量的密度相比射频电源会低上很多;综合考虑下,最好选择射频电源进行铜引线框架的处理。
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