等离子体刻蚀机的应用及优势分析

文章导读：等离子体刻蚀机是利用等离子体对物质表面进行刻蚀的一种设备。等离子体是通过将气体置于封闭的室内，施加高频电场，使得分子发生电离、激发、碰撞等反应产生的离子、自由基、活性分子等物质。这些物质在电场的作用下，可以对硅、氮化硅、氧化铝等材料进行刻蚀。