硅晶圆表面等离子处理

文章导读：‌硅晶圆表面等离子处理‌是一种高效、环保的表面处理技术，广泛应用于半导体制造、光刻工艺、存储器件制造、传感器和光电器件等领域。等离子处理通过等离子体的化学反应和物理作用，去除晶圆表面的污染物和残留物，同时改善晶圆表面的化学性质和物理特性。