等离子清洗机中的低温等离子体在应用上具有两个主要特征:与常规的物理、化学的其他方法相比,等离子体具有更高的温度和能量密度;等离子体能够产生活性成分,从而引发在常规化学反应中不能或难以实现的物理变化和化学反应。活性成分包括紫外和可见光子、电子、离子、自由基团等;高反应性的中性成分,如活性原子(O、F等);受激原子态;活性分子碎片,如单体。
等离子清洗机中的低温等离子体放电产生具有化学特性的微粒,这个显著的特点被广泛应用于材料表面改性。与传统的工艺相比较,等离子体技术应用的优点包括:
①不会改变基体固有性能,改性作用仅仅发生在表面,约几到几十个纳米,如半导体纳米蚀刻。
②全程干燥的处理方式(干式法),无需溶解剂和水,几乎不产生污染,因而节约能源,降低成本。
③作用时间短,反应速率高,加工对象广,能显著提高产品质量。
④工艺简单、操作方便,生产可控性强,产品一致性好。
⑤属于健康型工艺,对操作人员身体无伤害。
由于有以上这些优点,等离子清洗机中的低温等离子技术被广泛应用于诸多工业领域,而且越来越重要,尤其是低温等离子材料表面处理技术在能源、物质与材料、环境、生化等多个行业起着关键作用。如图所示
等离子清洗机中的低温等离子体放电产生具有化学特性的微粒,这个显著的特点被广泛应用于材料表面改性。与传统的工艺相比较,等离子体技术应用的优点包括:
①不会改变基体固有性能,改性作用仅仅发生在表面,约几到几十个纳米,如半导体纳米蚀刻。
②全程干燥的处理方式(干式法),无需溶解剂和水,几乎不产生污染,因而节约能源,降低成本。
③作用时间短,反应速率高,加工对象广,能显著提高产品质量。
④工艺简单、操作方便,生产可控性强,产品一致性好。
⑤属于健康型工艺,对操作人员身体无伤害。
由于有以上这些优点,等离子清洗机中的低温等离子技术被广泛应用于诸多工业领域,而且越来越重要,尤其是低温等离子材料表面处理技术在能源、物质与材料、环境、生化等多个行业起着关键作用。如图所示
等离子清洗机中的低温等离子体技术是涉及表面物理化学、等离子体物理化学、反应工程学、放电技术、真空技术等领域的一门交叉学科。如图所示
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