等离子清洗技术介绍

等离子清洗机技术具有高效、无污染、适用于多种材料等优点，被广泛应用于半导体、光学、航空航天等领域的清洗和表面处理。那么哪些参数需要重点关注呢？

1、放电压力：在低压等离子体的情况下，放电压力越高，等离子体密度越高，电子温度越低。等离子体的清洁效果取决于等离子体的密度和电子温度。例如，密度越高，清洗速度越快，电子温度越高，清洗效果越高。因此，放电气体压力的选择对于低压等离子清洗工艺非常重要。
2、气体种类：待处理基材及其表面污染物种类繁多，各种气体排放产生的等离子清洗速度和清洗效果完全不同。因此，应有针对性地选择等离子体的工作气体。例如，使用氧等离子体去除物体表面的油脂和污垢，或使用氢氩混合气体等离子体去除氧化层。

3、放电功率：提高放电功率可以增加等离子体的密度和活性粒子的能量，从而提高清洗效果。例如，氧等离子体的密度受放电功率的影响很大。
4、暴露时间：待用等离子体清洗材料的暴露时间对其表面清洗效果和等离子体工作效率影响很大。曝光时间越长，清洗效果越高，但工作效率越低。而且太长了长时间清洗会损坏材料的表面。
5、传输率：在常压等离子清洗过程中，处理大型物体时会出现连续传输的问题。因此，待清洁物体与电极之间的相对运动速度越慢，治疗效果就越高。

6、其他：等离子清洗过程中的气体分布、气体流速、电极设置等参数也会影响清洗效果。因此，需要根据实际情况和清洗要求，设定具体合适的工艺参数。

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