在等离子处理的过程中,首先将芯片放入真空室中,通入氧气。然后,通过放电方式激发氧气分子,产生含有大量活性氧离子和氧原子的等离子体。这些活性氧离子和原子具有高能量,能够穿透光刻胶层,并与其分子中的碳、氢等元素发生化学反应。
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