2. 等离子体密度:等离子体密度是等离子体中离子和电子的数量,通常以/cm3为单位。
3. 处理室压力:处理室压力是控制等离子体反应的重要参数,通常以帕斯卡(Pa)为单位。
4. 处理室温度:处理室温度也是控制等离子体反应的重要参数,通常以摄氏度(℃)为单位。
5. 气体流量:气体流量是控制等离子体反应的重要参数,通常以标准升每分钟(sccm)为单位。
7. 处理样品的位置和形状:处理样品的位置和形状也是等离子体表面处理的重要参数。
以上就是等离子表面处理设备的关键参数,用户在选择设备的时候需要关注这些参数内容,这样才能更好的使用这些设备,解决自己遇到的表面处理问题。