等离子清洗机处理二氧化硅薄膜材料的过程是什么样的？

文章导读：在使用等离子清洗机的等离子工艺对材料进行辅助处理的过程中，气相和固体表面上发生的化学反应起到了关键性的作用。低温等离子表面处理机在刻蚀二氧化硅薄膜时也是如此，等离子表面处理设备的典型反应器中的发生过程如下图所示。这里所标注的通入气体是四氟化碳和氧气的混和物，等离子体由射频或微波电场激发。