1、支持4/6/8英寸晶圆及切割环
2、2500万像素分辨率,AI深度神经网络加持
3、自动光学对焦、位置矫正、物镜切换
4、简易程式制作,减轻操作人员负担
3、自动光学对焦、位置矫正、物镜切换
4、简易程式制作,减轻操作人员负担
型号 | Wafer AOI系列 |
测试对象 | 支持4/6/8英寸晶圆及切割环 |
载台 | 微孔陶瓷X/Y/R |
相机像素 | 2500万像素高分辨率 |
可检测平面 | AI深度神经网络加持 |
显微镜光学系统 | 5轮物镜转换器,配备2X,5X,10X,20X显微物镜 |
光学模式 | 自动光学对焦,自动位置矫正,自动物镜切换 |
计算效率 | 多服务器分布式计算提速 |
控制方式 | 简易程式制作,减轻操作人员负担 |
图像系统 | 彩色图像Review系统 |
扩展升级 | 扩展兼容12英寸晶圆及切割环 |