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等离子清洗机有电子回旋共振和螺旋波等离子体吗？

1.电子回旋共振（ECR）等离子体通过等离子清洗机实验我们了解到，在0.1T量级的磁场中以1kW左右的微波（通常采用频率为2.45 GHz）从真空窗入射，即使在很低的压强（0.05 Pa~0.5Pa）条件下也可以生成高密度（10 17 m - 3 ）的等离子体。能够这样高效的生成等离子体的原因正是等离子体共振现象。利用磁场中电子回旋共振（Electron cyclotron resonance，ECR）的等离子体发生装置模型如图1所...

感应耦合等离子清洗机的放电原理及特点是什么？

等离子清洗机的螺旋线圈通入高频电流时，在它的空间会同时存在两种电场。第一种是由线圈两端的高频电位差建立的轴向电场E 1 ，这是E型放电的电场；第二种是由放电空间变化磁场产生的涡...

射频溅射对等离子清洗机处理产品有影响吗？

1 射频溅射的基本知识低压状态下射频自偏压在电极板周围产生自偏压鞘层，鞘层内的离子受自偏压的驱动会加速向极板运动，从而对极板材料产生溅射。设从外部入射到固体表面的粒子数为...

等离子清洗机的电极板面积不对称就可以做刻蚀？

等离子清洗机所产生的等离子体，不仅具有清除有机物和无机物的“清洁”特性，而且通过改变电极结构、电极面积或馈入方式，可以满足一定的等离子体刻蚀的要求，今天我们来探讨一下等离...

平行平板等离子清洗机的鞘层模型是什么样子？

等离子清洗机作为等离子体的反应器，尤其是真空（低压）等离子清洗机的等离子体鞘层的研究，一直以来都是重要而活跃方向，特别是可以结合计算机模拟手段的研究方法等离子体粒子模拟（Particle-in-cell computer modeling）对该理论的推进作用是比较显著，今天我们通过简化的图形初步来了解一下平行平板等离子清洗机的鞘层模型。...