2、启动等离子清洗机设备,通过等离子体进行表面处理;
3、等离子辉光放应,等待反应结束,然后打开仓门;
4、取出产品,放入下一批次产品就可以了。
整个处理过程中最重要的就是等离子体了,通过等离子体的高能量离子和自由基,对芯片表面进行清洗,可以调节清洗功率、时间、配方等等参数,找到合适的参数带来最好的清洗结果。
高效清洗:快速清洗芯片表面的污垢和氧化物,比传统的化学清洗方法更加高效。
不会损伤芯片表面:非接触式的清洗方法,不会对芯片表面造成损伤和磨损。
适用于多种材料:等离子清洗适用于多种材料,如硅、氮化硅、氧化铝、聚酰亚胺等,具有很广的适用范围。